北京俄華通儀表技術(shù)有限公司

創(chuàng)新產(chǎn)品組|三等獎(jiǎng)

研究現(xiàn)狀

目前國(guó)內(nèi)低溫介質(zhì)壓力測(cè)量多數(shù)采用毛細(xì)引壓管升溫和充油法蘭導(dǎo)壓以及機(jī)械方式等為主，在測(cè)量過程中測(cè)得壓力值與實(shí)際壓力值存在較大誤差。

創(chuàng)新理念

鈦-硅藍(lán)寶石壓力傳感器HPL低溫系列，突破了壓力傳感器不能直接對(duì)低溫介質(zhì)測(cè)量的屏障，可直接對(duì)低溫-200度的介質(zhì)進(jìn)行測(cè)量，且測(cè)量精度高，可應(yīng)用于深低溫設(shè)備中用于液化天然氣、液氧、液氮、液氫等介質(zhì)的測(cè)量。

創(chuàng)新描述

鈦/硅-藍(lán)寶石壓力傳感器為應(yīng)變壓阻結(jié)構(gòu)，在彈性體藍(lán)寶石上異質(zhì)外延生長(zhǎng)單晶硅薄膜，利用干法腐蝕制作藍(lán)寶石杯，然后刻蝕硅膜形成惠斯登力敏電橋。藍(lán)寶石+鈦合金在850℃高溫熔焊在一起，形成絕緣性很好的基底墊層。由鈦合金接收（感壓）膜片和鈦合金測(cè)量雙膜片構(gòu)成，藍(lán)寶石上異質(zhì)外延應(yīng)變敏感電路膜片，被熔焊在鈦合金測(cè)量膜片上，當(dāng)接收（感壓）膜片在被測(cè)壓力作用時(shí)，將被測(cè)壓力傳到測(cè)量膜片上，這時(shí)測(cè)量膜片產(chǎn)生變型，該形變電橋輸出會(huì)發(fā)生變化，變化的幅度與被測(cè)壓力成正比，電橋電路將應(yīng)變電橋的失衡信號(hào)，轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出。

使用時(shí)間

產(chǎn)品于2018年4月份設(shè)計(jì)完成，且經(jīng)過多次測(cè)試改進(jìn)，年底已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)化。2019年5月份開始已在國(guó)內(nèi)多家公司不同行業(yè)進(jìn)行使用。

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